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发布时间:2020-03-20 23:43:19
标准气体充装前,应该对气瓶严厉处理
1、气瓶是否过期、作废,是否现已运用;(如过期、作废、未运用不得充装)
2、检查水压记载
3、瓶瓶身是否无缺;(如无显着裂痕,凹陷或凸起不得充装)
4、是否有本单位的气瓶信息化标识(电子标签或二维条码);(如没有,不得充装)
5、瓶阀是否损坏或漏气;(如损坏或漏气不得充装)
6、气瓶保压测验。(如气瓶不保压,不得充装)
气瓶预处理 检查合格的气瓶,接入烘箱内,标准气体哪家好,进行加热抽空处理(一般为80℃,8小时),主要目的是为除去瓶内水分,完成后接入抽真空汇流排,用所需制造气体的稀释气,对气瓶进行屡次冲刷及抽真空,去除瓶内其它气体杂质成分
电子混合气体和计量学上的标准气体有许多相似的特点,但又有许多不同,电子混合气体除了要保证其配制浓度的高精度外,更需要气体具有优良的品质,换言之,电子混合气体必须要确保混合好的气体中含有的***杂质不能高于某值。在8in以上的IC生产线,也应对混合气体中含有的颗粒物进行控制和定值。
1、电子混合气体的气瓶处理
同其他气体不同,对盛装电子混合气体的气瓶的要求十分严格,否则,标准气体,即便是混合气体配制的准确度再高,标准气体厂家,稳定性再好也无法使用。
首先混合气体的气瓶几何尺雨如体积、直径、瓶高度要满足用户要求。在半导体等领域,气瓶通常安放在气瓶柜内使用,气瓶柜的尺寸及连接的管阀件确定后,气瓶的高矮胖瘦就不能随心所欲了。对于不同种类的混合气在气瓶色标、警示标志等方面国外已有极其详细的标准,如美国的CGA、欧盟的ISO等,我们***在此方面仍在认识和完善中。
2、电子混合气体配制装置技术要求
同其他标准气体制备不同的是,配制电子混合气体的装置似乎更为复杂,电子混合气体配气装置所用的管路必须是EP级别,材质为316L,精密压力表或压力传感器精度优于0.25级,材质316L。为确保配制装置不产生污染使用前要求系统。
配置标准气体的一般流程图是,下配气单、处***瓶、开始配置、配置完成、气瓶滚匀、仪器分析、误差在允许范围内合格否则微调或重配。这就是生产工艺流程,一般的周期也是根据流程来确定,由于各种标气的组分和浓度不同,河北标准气体,各气体性质之间也有差异,给客户确定周期就必须非常谨慎,一般两个组分的标准气体(气体性质稳定的)需要两个工作日内完成,而***或腐蚀性的标准气体(气体性质活跃)需要至少三个工作日到七个工作日内完成。
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