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朱亚军 先生
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发布时间:2020-02-15 03:52:50
标准气体的均匀性是一项十分重要的特征。虽然各种气体具有较大的流动性和扩散能力,由于配制标准气体时,几种组分气体先后充入高压钢瓶内,加之各组分气的分子量之差异,结果使钢瓶内的气体组分分布得不均匀,机动车尾气标准气体,有的还可能产生分层现象。另外,气体组分与钢瓶内壁之间存在着一个吸附与脱附平衡过程,这对标准气体组分的均匀性产生不利的影响。正由于上述原因,配制标准气体尚需采取一定混匀处理手段,以解决充入钢瓶内的各种组分气均匀性的问题。钢瓶旋转滚动法是解决标准气体混匀的一种快速、简易、行之有效的方法。而自然扩散法也能使标准校正气体混合均匀,只不过达到均匀状态所需的时间较长。
校准气体的稳定性也是一项十分重要的基本特征。标准气的稳定性包含两个方面的内容,即标准校正气体分含量随时间的变化和标准校正气体组分含量随压力的变化。一般来说,一级气体标准物质稳定性考察实验需要一年以上,二级气体标准物稳定性则需半年以上考察时间。根据考察实验结果,才能确定出标准气体的使用有效期限,即标准校正气体的有效期。标准校正气体有效期长短,不能随意给定,必须以稳定性考察实验结果为依据。保持标准气中组分含量长期稳定极为重要。标准校正气体包装容器材质与容器内壁处理是影响标准校正气体稳定性的关键因素。
电子混合气体和计量学上的标准气体有许多相似的特点,但又有许多不同,电子混合气体除了要保证其配制浓度的高精度外,更需要气体具有优良的品质,换言之,电子混合气体必须要确保混合好的气体中含有的***杂质不能高于某值。在8in以上的IC生产线,也应对混合气体中含有的颗粒物进行控制和定值。
1、电子混合气体的气瓶处理
同其他气体不同,对盛装电子混合气体的气瓶的要求十分严格,否则,即便是混合气体配制的准确度再高,湖南标准气体,稳定性再好也无法使用。
首先混合气体的气瓶几何尺雨如体积、直径、瓶高度要满足用户要求。在半导体等领域,气瓶通常安放在气瓶柜内使用,汽车尾气标准气体价格,气瓶柜的尺寸及连接的管阀件确定后,气瓶的高矮胖瘦就不能随心所欲了。对于不同种类的混合气在气瓶色标、警示标志等方面国外已有极其详细的标准,如美国的CGA、欧盟的ISO等,我们***在此方面仍在认识和完善中。
2、电子混合气体配制装置技术要求
同其他标准气体制备不同的是,配制电子混合气体的装置似乎更为复杂,电子混合气体配气装置所用的管路必须是EP级别,材质为316L,精密压力表或压力传感器精度优于0.25级,材质316L。为确保配制装置不产生污染使用前要求系统。
要保证标准气体的稳定性,必须考虑气瓶材质对所配气体的影响,不能对气体产生吸附、氧化等,在有效期限内量值必须稳定可靠,标准气的有效期一般为一年。大多数常量标准气体可采用钢质气瓶充装,汽车尾气标准气体浓度,但微量CO、CO2、NO、SO2等微量标准气体要使用铝合金气瓶充装,对于含有SO2 、H2S 、NO 、NO2、CL2、NH3、PH3等腐蚀性成份且含量低于10ppm的标准气体,要用内涂层钢瓶充装且有效期为3-6个月。对同时含有CO、CO2的标准气体和含有HF、HCl、CHCl3等卤代烃的标准气体也要使用铝合瓶。
气瓶规格通常为2升、4升、8升、40升高压无缝气瓶;材质:钢质、铝合金、内涂层碳钢三种;对于腐蚀性和反应活性气体组份的标准混合气,比如NO2、Cl2、NH3、H2S等标准气体、混合气的气瓶阀门为不锈钢阀。
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